Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung eines Bandförmigen Substrats aus einem Metall für die Herstellung von Bipolarplatten, Elektroden oder Elektrischen Stromableitern

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4050120

Aktenzeichen

EP22158173

Anmeldetag

23. Februar 2022

Veröffentlichung

21. Januar 2026

Erteilung

21. Januar 2026

Rechtsraum

EP

IPC

C23C14/32C23C14/06C23C14/16C23C14/02C23C14/56H01M8/0228

Abstract

Bei der Vorrichtung wird ein bandförmiges Substrat (1), das in einer Vakuumkammer (2) in einem Abstand zu einem und parallel zur Längsachse eines stabförmigen Targets (3a), das aus einem Metall oder Kohlenstoff besteht, angeordnet ist, beschichtet. Das Target (3a) ist negativ an eine erste elektrische Spannungsquelle (4) angeschlossen und in einem Abstand zu dem Target (3a) ist eine Anode (3b), die an die erste Spannungsquelle (4) angeschlossen ist, angeordnet. Die erste Spannungsquelle (4) dient zur Zündung und die Aufrechterhaltung elektrischer Bogenentladungen zwischen der Anode (3b) und dem Target (3a). Mindestens eine Hilfselektrode (6, 6a, 6b), die an einen positiven Pol einer zweiten Spannungsquelle (9) angeschlossen ist, ist in einem Abstand zur Anode (3b), parallel zum Target (3a) und zwischen dem Substrat (1) und dem Target (3a) angeordnet. Das Target (3a) ist innerhalb von Schenkeln einer v-förmig oder u-förmig konkav gekrümmten Hilfselektrode (6) oder in einem Spalt zwischen zwei plattenförmigen Elementen (6a, 6b) in einem Abstand zur Hilfselektrode (6) oder plattenförmigen Elementen (6a, 6b) so angeordnet, dass freigesetzte Ionen in Richtung bandförmigen Substrat (1) gelangen.

Anmelder

Firmen

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Technische Universität Dresden

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete