Halbleitersubstratherstellungsverfahren und Halbleitersubstrat

EP4050132 Art A1 31. August 2022

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4050132
Aktenzeichen
EP20879022
Anmeldetag
8. Oktober 2020
Veröffentlichung
31. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/18H01L21/20H01L21/205H01L21/31H01L21/318H01L27/12C30B29/38C23C16/24C23C28/00C30B29/08C30B29/06H01L21/02C23C16/02H01L21/762C30B29/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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