Verfahren zur Herstellung eines Galliumvorläufers und Verfahren zur Herstellung eines Schichtproduktes unter Verwendung Desselben

EP4050133 Art A1 31. August 2022

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4050133
Aktenzeichen
EP20878229
Anmeldetag
15. Juli 2020
Veröffentlichung
31. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/16C01G15/00C23C16/448C30B25/02H01L21/365H01L21/368C22B58/00C23C16/40C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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