Ätzverfahren
EP4050641
Art A1
31. August 2022
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4050641
- Aktenzeichen
- EP20883813
- Anmeldetag
- 2. November 2020
- Veröffentlichung
- 31. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/3213H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Jacob, Reuben Ellis
London, Großbritannien
1.272
Patente gesamt
34
Fachgebiete
35
Anmelder-Länder
Schwerpunkte