Plasmaunterstützte Dünnschichtabscheidung mittels Flüssigvorläufereinspritzung

EP4051822 Art A1 7. September 2022

Anmelder: University of Surrey, Airbus Defence and Space GmbH 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4051822
Aktenzeichen
EP20838161
Anmeldetag
15. Dezember 2020
Veröffentlichung
7. September 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/509C23C16/455B05D1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
University of Surrey
Airbus Defence and Space GmbH
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪 Airbus Defence and Space

Deutsche Sparte des Airbus-Konzerns, die militärische Flugzeuge, Satelliten, Raumfahrttechnik sowie Verteidigungs- und Sicherheitssysteme entwickelt.

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