Mikrowellenunterstützte Vorrichtung, System und Verfahren zur Abscheidung von Filmen auf Substraten

EP4052283 Art A1 7. September 2022

Anmelder: Indian Institute Of Science, Indian Space Research Organization Headquarters 🇮🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4052283
Aktenzeichen: EP20883017
Anmeldetag: 2. November 2020
Veröffentlichung: 7. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H05B6/80H05B6/78H01L21/02H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Indian Institute Of Science
Indian Space Research Organization Headquarters
Land: 🇮🇳 Indien

🇮🇳 Indian Institute of Science

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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