Mehrlagige Filmstruktur und Verfahren zur Herstellung davon
EP4052899
Art A1
7. September 2022
Anmelder: Tosoh Corporation, National Institute for Materials Science 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4052899
- Aktenzeichen
- EP20883221
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2020
- Veröffentlichung
- 7. September 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/203C23C14/06C30B23/02C30B29/40C23C28/04C23C14/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tosoh Corporation
National Institute for Materials Science - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tosoh Corporation
Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.
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🇯🇵
National Institute for Materials Science
Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.
828 Patente in unserer Datenbank