Trägervorrichtung, Lithographiegerät und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP4053497
Art B1
20. September 2023
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4053497
- Aktenzeichen
- EP22157687
- Anmeldetag
- 21. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 20. September 2023
- Erteilung
- 20. September 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02015G01B9/02017G02B5/122G03F7/20G02B5/18// G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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