Polierflüssigkeit, Polierflüssigkeitsset und Polierverfahren

EP4053882 Art A1 7. September 2022

Anmelder: Resonac Corporation, Showa Denko Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4053882
Aktenzeichen
EP21884126
Anmeldetag
6. Januar 2021
Veröffentlichung
7. September 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Resonac Corporation
Showa Denko Materials Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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