System und Verfahren zur Reinigung von Kontaktelementen und Trägerhardware oder Drahtbonder unter Verwendung von Funktionalisierten Oberflächenmikromerkmalen

EP4058216 Art A1 21. September 2022

Anmelder: Entegris, Inc., International Test Solutions, LLC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4058216
Aktenzeichen
EP20887774
Anmeldetag
12. November 2020
Veröffentlichung
21. September 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B08B11/00B08B1/00H01L23/00H01L23/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
International Test Solutions, LLC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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