Flächenselektives Atomlagenabscheidungsverfahren und Vorrichtung

EP4058617 Art B1 27. September 2023

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4058617
Aktenzeichen: EP20808540
Anmeldetag: 12. November 2020
Veröffentlichung: 27. September 2023
Erteilung: 27. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/455C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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