Optischer Wand- und Prozesssensor mit Plasmaseitigem Sensor

EP4059040 Art A1 21. September 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4059040
Aktenzeichen: EP20886285
Anmeldetag: 9. Oktober 2020
Veröffentlichung: 21. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H05H1/00G01J1/42H01L21/67H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von