Physikalische Dampfabscheidung von Piezoelektrischen Filmen

EP4059064 Art A1 21. September 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4059064
Aktenzeichen: EP20888141
Anmeldetag: 10. November 2020
Veröffentlichung: 21. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/08C23C14/34C23C14/58C23C14/54H10N30/85C23C14/02H10N30/076H10N30/079H10N30/00H10N30/853

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von