Verbindungen und Verfahren zur Selektiven Bildung Metallhaltiger Filme

EP4061978 Art A1 28. September 2022

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4061978
Aktenzeichen: EP20800896
Anmeldetag: 3. November 2020
Veröffentlichung: 28. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/455C23C16/18C07F11/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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