Ferroelektrischer Dünnfilm, Elektronisches Element damit und Verfahren zum Herstellen eines Ferroelektrischen Dünnfilms
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, National Institute Of Advanced Industrial Science and Technology, Tokyo Institute of Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4063323
- Aktenzeichen
- EP20904717
- Anmeldetag
- 25. Dezember 2020
- Veröffentlichung
- 28. September 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/06C23C14/34C01B21/06C01G15/00C04B35/58C23C14/00H10N30/076H10N30/853C30B23/08C30B29/38C30B29/40H10B53/00H10B51/00C04B35/581
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
National Institute Of Advanced Industrial Science and Technology
Tokyo Institute of Technology - Land
- 🇯🇵 Japan
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