Treiberschaltungen für einen Piezoelektrischen Mikroelektromechanischen Systemspiegel

EP4066041 Art A1 5. Oktober 2022

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4066041
Aktenzeichen: EP20821325
Anmeldetag: 27. November 2020
Veröffentlichung: 5. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G02B26/10H01L41/00H01L41/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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