Verfahren und System zur Abbildung einer Probe mit mehreren Säulen

EP4068335 Art A1 5. Oktober 2022

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4068335
Aktenzeichen
EP22163303
Anmeldetag
21. März 2022
Veröffentlichung
5. Oktober 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26G01N23/046
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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