Evakuierungsvorrichtung und Darin Verwendete Vakuumpumpe

EP4071363 Art A1 12. Oktober 2022

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4071363
Aktenzeichen: EP20896061
Anmeldetag: 27. November 2020
Veröffentlichung: 12. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: F04D19/04F04B49/06F04B49/22F04D27/00F04D27/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von