Optisches System, sowie Heizanordnung und Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements in einem Optischen System
EP4073588
Art A1
19. Oktober 2022
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4073588
- Aktenzeichen
- EP20767478
- Anmeldetag
- 19. August 2020
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B7/00G02B7/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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