Diffusionsbarrieren aus mehreren Barrierematerialien sowie Verwandte Artikel und Verfahren

EP4073831 Art A1 19. Oktober 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4073831
Aktenzeichen
EP20899780
Anmeldetag
8. Dezember 2020
Veröffentlichung
19. Oktober 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C14/56C23C16/455H01J37/32C23C28/04H01L21/68H01L21/683H01L29/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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