Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung und deren Verwendung in einem Chemisch-Mechanischen Polierverfahren

EP4074792 Art B1 2. April 2025

Anmelder: Entegris, Inc., CMC Materials KK 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4074792
Aktenzeichen
EP20900201
Anmeldetag
7. Dezember 2020
Veröffentlichung
2. April 2025
Erteilung
2. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14B24B37/00H01L21/304H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
CMC Materials KK
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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