Verbundstruktur, die für eine Planare Ko-Integration von Elektronischen Komponenten mit Unterschiedlichen Funktionen Bestimmt Ist
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4075479
- Aktenzeichen
- EP22167773
- Anmeldetag
- 12. April 2022
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2025
- Erteilung
- 29. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
Structure composite (100), destinée à une co-intégration planaire de composants électroniques de fonctions différentes, la structure composite (100) comprenant de sa base vers sa surface :- un substrat support (1) en un premier matériau, le substrat support (1) comportant des cavités (2) débouchant chacune dans une face supérieure (3) du substrat support (1), les cavités (2) étant comblées par au moins un matériau composite (5) constitué d'une matrice (4) d'un polymère précéramique réticulé, la matrice (4) étant chargée de particules inorganiques,- un film mince (9) en un deuxième matériau, le film mince (9) étant collé à la face supérieure (3) du substrat support (1) et au matériau composite (5).
Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Germain Maureau
Germain Maureau · Lyon