Verfahren zur Herstellung eines Mikro-Elektro-Mechanischen Systems aus einer Aufgetragenen Piezoelektrischen oder Ferroelektrischen Schicht

EP4075528 Art B1 6. November 2024

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Université de Franche-Comté, École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4075528
Aktenzeichen: EP22176626
Anmeldetag: 25. Februar 2020
Veröffentlichung: 6. November 2024
Erteilung: 6. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H03H3/02H03H9/02H03H9/17H10N30/01H10N30/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Université de Franche-Comté
École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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