Siliziumcarbonitrid-Lückenfüllung mit Abstimmbarem Kohlenstoffgehalt

EP4077761 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4077761
Aktenzeichen: EP20901155
Anmeldetag: 17. Dezember 2020
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/36C23C16/04C23C16/505C01B17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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