Lineare Lampenanordnung für Verbesserte Thermische Gleichförmigkeit und Profilsteuerung

EP4077774 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4077774
Aktenzeichen: EP20904078
Anmeldetag: 22. Oktober 2020
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/10C30B25/08G02B7/182G02B7/00C30B25/16C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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