Genaue Temperaturablesung einer Flüssigkeitsnahen Schnittstelle

EP4078118 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4078118
Aktenzeichen
EP20901653
Anmeldetag
9. Dezember 2020
Veröffentlichung
26. Oktober 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G01K1/14G01K1/16G01K15/00G01N21/41G01K7/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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