Mikroelektromechanischer Systemspiegel

EP4078267 Art B1 4. Dezember 2024

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4078267
Aktenzeichen
EP20828530
Anmeldetag
17. Dezember 2020
Veröffentlichung
4. Dezember 2024
Erteilung
4. Dezember 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/10G01S7/481G02B19/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY
Land
🇫🇮 Finnland
🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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