Verfahren zum Nanostrukturieren eines Substrats
Anmelder: ARKEMA FRANCE, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Grenoble Alpes 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4078291
- Aktenzeichen
- EP20833928
- Anmeldetag
- 29. Dezember 2020
- Veröffentlichung
- 15. November 2023
- Erteilung
- 15. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00B82Y40/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- ARKEMA FRANCE
Centre National de la Recherche Scientifique
Université Grenoble Alpes - Land
- 🇫🇷 Frankreich
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