Flächenselektive Abscheidung von Metallhaltigen Schichten

EP4078657 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4078657
Aktenzeichen: EP20901078
Anmeldetag: 18. Dezember 2020
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/32H01L21/321H01L21/3105C23C16/02C23C16/04C23C16/455C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von