Oberflächenprofilierung und Texturierung von Kammerkomponenten
EP4078665
Art A1
26. Oktober 2022
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4078665
- Aktenzeichen
- EP20902650
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2020
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67C23C16/44H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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