Einbrennvorrichtungen zum Handhaben und Gleichmässigen Einbrennen von Substraten

EP4078666 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4078666
Aktenzeichen: EP20902948
Anmeldetag: 11. Dezember 2020
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/687H01L21/027G03F7/38G03F7/40F27B17/00F27D5/00H05B3/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von