Verarbeitungssystem, Verarbeitungsverfahren, Messgerät, Substratverarbeitungsgerät und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP4080287 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4080287
Aktenzeichen: EP22166450
Anmeldetag: 4. April 2022
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von