Maskenhalter mit Halterung durch Grundplatte

EP4081864 Art B1 23. April 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4081864
Aktenzeichen
EP20906261
Anmeldetag
9. Dezember 2020
Veröffentlichung
23. April 2025
Erteilung
23. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F1/66H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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