Vorrichtung zur Herstellung von Dünnschichten

EP4083252 Art A1 2. November 2022

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4083252
Aktenzeichen
EP20888722
Anmeldetag
22. Dezember 2020
Veröffentlichung
2. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/32C23C14/04C23C14/06H01M4/525H01M10/0562H05H1/46H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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