Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Piezoelektrischen Materialien

EP4085159 Art A1 9. November 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4085159
Aktenzeichen
EP19958545
Anmeldetag
31. Dezember 2019
Veröffentlichung
9. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/02C23C14/06C23C14/34C23C14/35C23C14/54H10N30/076
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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