Verfahren zum Fabrizieren von Doppelporen-Vorrichtungen

EP4087680 Art A1 16. November 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4087680
Aktenzeichen: EP20911348
Anmeldetag: 4. Dezember 2020
Veröffentlichung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: B01L3/00C23C16/34C23C16/24C23C14/06C23C14/58C30B29/06C30B25/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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