Verfahren zur Herstellung eines Gruppe-Iii-Nitridsubstrats und Gruppe-Iii-Nitridsubstrat

EP4089212 Art A1 16. November 2022

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4089212
Aktenzeichen: EP20913026
Anmeldetag: 3. Dezember 2020
Veröffentlichung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/38C23C16/34C30B25/20H01L21/205H01L21/02H01L21/18C23C14/48C23C16/30C30B33/04C30B33/06C30B25/02C30B29/40C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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