Optische Vorrichtung, Belichtungsvorrichtung, Verfahren zum Herstellen eines Flachbildschirms und Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung

EP4089485 Art A1 16. November 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4089485
Aktenzeichen: EP21738415
Anmeldetag: 8. Januar 2021
Veröffentlichung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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