Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Kohlenstoffverbindungen

EP4090788 Art A1 23. November 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4090788
Aktenzeichen: EP20914560
Anmeldetag: 14. Dezember 2020
Veröffentlichung: 23. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/505C23C16/458C23C16/46C23C16/26H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von