Verfahren zum Ätzen oder Abscheiden

EP4091192 Art A1 23. November 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4091192
Aktenzeichen
EP21741881
Anmeldetag
15. Januar 2021
Veröffentlichung
23. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311H01L21/3213H01L21/285C23C16/455C23C16/14C23C16/04H01L21/3205
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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