System, Softwareanwendung und Lithografieheftverfahren

EP4094126 Art A1 30. November 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4094126
Aktenzeichen: EP20916036
Anmeldetag: 11. Dezember 2020
Veröffentlichung: 30. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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