Inline-Überwachung der Oled-Schichtdicke und der Dotierstoffkonzentration

EP4094306 Art A1 30. November 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4094306
Aktenzeichen: EP21745054
Anmeldetag: 19. Januar 2021
Veröffentlichung: 30. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G01B11/06C23C14/54C23C14/56C23C14/12H01L21/67H10K71/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von