Inline-Überwachung der Oled-Schichtdicke und der Dotierstoffkonzentration

EP4094307 Art A1 30. November 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4094307
Aktenzeichen: EP21745138
Anmeldetag: 19. Januar 2021
Veröffentlichung: 30. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54C23C14/56C23C14/12C23C14/52H01L21/67H10K71/70H10K71/16B05D1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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