Verfahren und Gerät zum Analysieren eines Bildes eines Mikrolithografischen, Mikrostrukturierten Bauteils
EP4095810
Art A1
30. November 2022
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4095810
- Aktenzeichen
- EP22173636
- Anmeldetag
- 16. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 30. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06V10/44G06V20/69G06V10/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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