Cmp-Zusammensetzung zum Polieren von Harten Materialien
EP4097187
Art B1
16. April 2025
Anmelder: Entegris, Inc., University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4097187
- Aktenzeichen
- EP21748351
- Anmeldetag
- 30. Januar 2021
- Veröffentlichung
- 16. April 2025
- Erteilung
- 16. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02C09K3/14H01L21/00H01L21/027H01L21/30H01L21/321H01L21/46H01L21/78H01L21/475C09F1/00C09D5/23C09D5/00C09D1/00C09D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
University of Florida Research Foundation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
Non-profit-Organisation der University of Florida (USA) zur Verwaltung und Vermarktung von Forschungsergebnissen und Patenten der Universität.
1.662 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar