Wasserlösliche Organisch-Anorganische Hybridmaskenformulierungen und deren Anwendungen

EP4097755 Art A1 7. Dezember 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4097755
Aktenzeichen
EP21748170
Anmeldetag
6. Januar 2021
Veröffentlichung
7. Dezember 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78H01L21/308H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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