Kieselsäureteilchen, Kieselsol, Polierzusammensetzung, Polierverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterwafers und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4098615 Art A1 7. Dezember 2022

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4098615
Aktenzeichen: EP21747821
Anmeldetag: 25. Januar 2021
Veröffentlichung: 7. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/141C01B33/18C09K3/14H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von