Verdampfungsquelle und Verdampfer

EP4098768 Art A1 7. Dezember 2022

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4098768
Aktenzeichen
EP20873356
Anmeldetag
22. Dezember 2020
Veröffentlichung
7. Dezember 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24C23C14/04C23C14/08C23C14/30C23C14/56H01M4/04H01M4/1391H01M4/525H01M10/052H01M10/0562H01M10/0585
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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