Verfahren und Vorrichtung zur Einstellung der Schichteigenschaften Während der Dünnschichtabscheidung

EP4100556 Art B1 25. Juni 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4100556
Aktenzeichen: EP20918103
Anmeldetag: 6. Februar 2020
Veröffentlichung: 25. Juni 2025
Erteilung: 25. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/54C23C14/56C23C14/06C23C14/02C23C28/00C23C28/04C23C14/35H01J37/32H01J37/34H10N30/076

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von