Pellikelrahmen, Pellikel, Belichtungsoriginalplatte mit Pellikel und Belichtungsverfahren sowie Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements oder einer Flüssigkristallanzeigetafel
EP4102296
Art A1
14. Dezember 2022
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4102296
- Aktenzeichen
- EP21750061
- Anmeldetag
- 2. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Kanzlei
Meissner Bolte Patentanwälte
Bremen, Deutschland
Meissner Bolte zählt zu den traditionsreichen deutschen IP-Kanzleien und ist seit über einem Jahrhundert im gewerblichen Rechtsschutz tätig, mit Standorten in Deutschland und Großbritannien sowie einem eigenen Asia-Desk für internationale Mandanten.
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Meissner Bolte Partnerschaft mbB · München